1. ოპტიკური მეტალოგრაფიული მიკროსკოპისა და ატომური ძალის მიკროსკოპის ინტეგრირებული დიზაინი, ძლიერი ფუნქციები
2. მას აქვს როგორც ოპტიკური მიკროსკოპი, ასევე ატომური ძალის მიკროსკოპის ვიზუალიზაციის ფუნქციები, რომელთაგან ორივე ერთდროულად შეუძლია იმუშაოს ერთმანეთზე გავლენის გარეშე
3. შეუძლია იმუშაოს ჩვეულებრივ საჰაერო გარემოში, თხევადი გარემოში, ტემპერატურის კონტროლის გარემოში და გაზის კონტროლის ინერტული გარემოში ერთდროულად
4. ნიმუშის სკანირების მაგიდა და ლაზერული გამოვლენის თავი შექმნილია დახურულ ტიპში, ხოლო სპეციალური გაზი შეიძლება შეავსოთ და გაათავისუფლოს შიგნით, დალუქვის საფარის დამატების გარეშე
5. ლაზერული გამოვლენა იღებს ვერტიკალური ოპტიკური ბილიკის დიზაინს და შეუძლია თხევადის ქვეშ იმუშაოს გაზის თხევადი ორმაგი დანიშნულების ზონდის მფლობელთან
6. ერთჯერადი ღერძიანი წამყვანი ნიმუში ავტომატურად უახლოვდება ზონას ვერტიკალურად, ისე, რომ ნემსის წვერი სკანირდება ნიმუშის პერპენდიკულურად
7. საავტომობილო კონტროლირებადი ზეწოლა პიეზოელექტრული კერამიკული ავტომატური გამოვლენის ინტელექტუალური ნემსის კვების მეთოდი იცავს გამოძიებას და ნიმუშს
8. ულტრა მაღალი გამადიდებლობის ოპტიკური პოზიციონირების სისტემა ზონდისა და ნიმუშის სკანირების ადგილის ზუსტი განლაგების მისაღწევად
9. ინტეგრირებული სკანერის არაწრფივი კორექტირების მომხმარებლის რედაქტორი, ნანომეტრის დახასიათება და გაზომვის სიზუსტე უკეთესია ვიდრე 98%
სპეციფიკაციები:
| ოპერაციული რეჟიმი | შეხების რეჟიმი, შეეხეთ რეჟიმს |
| არჩევითი რეჟიმი | ხახუნის/გვერდითი ძალა, ამპლიტუდა/ფაზა, მაგნიტური/ელექტროსტატიკური ძალა |
| ძალის სპექტრის მრუდი | FZ ძალის მრუდი, RMS-Z მრუდი |
| XY სკანირების დიაპაზონი | 50*50um, სურვილისამებრ 20*20um, 100*100um |
| Z სკანირების დიაპაზონი | 5um, სურვილისამებრ 2UM, 10um |
| სკანირების რეზოლუცია | ჰორიზონტალური 0.2 ნმ, ვერტიკალური 0.05 ნმ |
| ნიმუშის ზომა | Φ≤68 მმ, H≤20mm |
| ნიმუშის ეტაპის მოგზაურობა | 25*25 მმ |
| ოპტიკური თვალი | 10x |
| ოპტიკური მიზანი | 5x/10x/20x/50x გეგმა აპოქრომატული მიზნები |
| განათების მეთოდი | Le Kohler განათების სისტემა |
| ოპტიკური ფოკუსირება | უხეში სახელმძღვანელო ფოკუსი |
| კამერა | 5MP CMOS სენსორი |
| ჩვენება | 10.1 დიუმიანი ბრტყელი პანელის ჩვენება გრაფიკთან დაკავშირებული გაზომვის ფუნქციით |
| გათბობის მოწყობილობა | ტემპერატურის კონტროლის დიაპაზონი: ოთახის ტემპერატურა ~ 250 ℃ (არასავალდებულო) |
| ცხელი და ცივი ინტეგრირებული პლატფორმა | ტემპერატურის კონტროლის დიაპაზონი: -20 ℃ ~ 220 ℃ (არასავალდებულო) |
| სკანირების სიჩქარე | 0.6Hz-30Hz |
| კუთხის სკანირება | 0-360 ° |
| საოპერაციო გარემო | Windows XP/7/8/10 ოპერაციული სისტემა |
| საკომუნიკაციო ინტერფეისი | USB2.0/3.0 |
