1. ოპტიკური მეტალოგრაფიული მიკროსკოპისა და ატომური ძალის მიკროსკოპის ინტეგრირებული დიზაინი, ძლიერი ფუნქციები
2. მას აქვს როგორც ოპტიკური მიკროსკოპის, ასევე ატომური ძალის მიკროსკოპის გამოსახულების ფუნქციები, რომელთაგან ორივეს შეუძლია ერთდროულად იმუშაოს ერთმანეთზე გავლენის გარეშე.
3. ამავდროულად, მას აქვს ოპტიკური ორგანზომილებიანი გაზომვის და ატომური ძალის მიკროსკოპის სამგანზომილებიანი გაზომვის ფუნქციები.
4. ლაზერული გამოვლენის თავი და ნიმუშის სკანირების ეტაპი ინტეგრირებულია, სტრუქტურა ძალიან სტაბილურია და ჩარევის საწინააღმდეგო ძლიერია
5. ზუსტი ზონდის პოზიციონირების მოწყობილობა, ლაზერული ლაქების გასწორების კორექტირება ძალიან მარტივია
6. ერთღერძიანი ამძრავის ნიმუში ავტომატურად უახლოვდება ზონდს ვერტიკალურად, ისე, რომ ნემსის წვერი დასკანირებულია ნიმუშის პერპენდიკულურად.
7. ძრავით კონტროლირებადი წნევით პიეზოელექტრული კერამიკული ავტომატური დეტექტორის ნემსით კვების ინტელექტუალური მეთოდი იცავს ზონდს და ნიმუშს
8. ულტრა მაღალი გადიდების ოპტიკური პოზიციონირების სისტემა ზონდის და ნიმუშის სკანირების არეალის ზუსტი განლაგების მისაღწევად
9. ინტეგრირებული სკანერის არაწრფივი კორექტირების მომხმარებლის რედაქტორი, ნანომეტრის დახასიათება და გაზომვის სიზუსტე 98%-ზე უკეთესი
სპეციფიკაციები:
Სამუშაო რეჟიმი | შეხების რეჟიმი, შეხების რეჟიმი |
არჩევითი რეჟიმი | ხახუნის/გვერდითი ძალა, ამპლიტუდა/ფაზა, მაგნიტური/ელექტროსტატიკური ძალა |
ძალის სპექტრის მრუდი | FZ ძალის მრუდი, RMS-Z მრუდი |
XY სკანირების დიაპაზონი | 50 * 50 მმ, სურვილისამებრ 20 * 20 მმ, 100 * 100 მმ |
Z სკანირების დიაპაზონი | 5 მმ, სურვილისამებრ 2 მმ, 10 მმ |
სკანირების გარჩევადობა | ჰორიზონტალური 0,2 ნმ, ვერტიკალური 0,05 ნმ |
ნიმუშის ზომა | Φ≤68მმ, H≤20მმ |
სასცენო მოგზაურობის ნიმუში | 25*25 მმ |
ოპტიკური ოკულარი | 10X |
ოპტიკური ობიექტი | 5X/10X/20X/50X გეგმა აპოქრომატული მიზნები |
განათების მეთოდი | LE Kohler განათების სისტემა |
ოპტიკური ფოკუსირება | უხეში ხელით ფოკუსი |
კამერა | 5 MP CMOS სენსორი |
ჩვენება | 10.1 დიუმიანი ბრტყელი დისპლეი გრაფიკთან დაკავშირებული საზომი ფუნქციით |
სკანირების სიჩქარე | 0.6Hz-30Hz |
სკანირების კუთხე | 0-360° |
საოპერაციო გარემო | ოპერაციული სისტემა Windows XP/7/8/10 |
საკომუნიკაციო ინტერფეისი | USB2.0/3.0 |